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Reinraumtauglichkeit


 

Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen nach VDI 2083 Blatt 8 (Entwurf)

 

Begriff

In Ermangelung von Begriffsdefinitionen wird in der Reinraumtechnik allgemein der Begriff Reinraumtauglichkeit für die Definition der Partikelabgabe eines Betriebsmittels verwendet.

 

Untersuchung

Die Untersuchungen können in unserem Hause im Reinraum oder beim Kunden durchgeführt werden. Für die Messungen wird eine ausreichend große, laminar durchströmte Messzone benötigt. Die Strömungsgeschwindigkeit muss stufenlos regelbar sein, um im Rahmen der Messungen Turbulenzen und Prallströmungen zu quantifizieren. Die zu untersuchenden Parameter werden gemeinsam mit dem Kunden festgelegt.

 

Folgende Parameter (siehe auch Monitoring) werden üblicherweise gemessen und bewertet:

 

Ermittlung der Partikelemmission des Gerätes bzw. der Maschine des an den Reinraum oder bei Mini Environments an den Produktraum. Partikelquellen an der Außenseite und im Inneren von Betriebsmitteln werden identifiziert.
Partikelkonzentrationsverteilung innerhalb der Bereiche, die vom Betriebsmittel strömungstechnisch beeinflusst werden. Bestimmung der räumlichen Ausdehnung der Störzone um das Betriebsmittel.
Interne Strömungsführung im Produkt- und Fertigungsbereich
Abgegebenen Gesamtpartikelzahl in Abhängigkeit der Betriebsbedingung Strömungsgeschwindigkeit, Temperatur und Feuchte
Untersuchung anderer relevanter Größen

 

Bewertung

Die Reinheit des Betriebsmittels ist bezüglich dem Produkt zu definieren. D.h., ein Betriebsmittel ist umso reinraumtauglicher, je geringer die partikuläre Verschmutzung ist, die während eines Produktdurchlaufs durch dieses auf die Produktoberfläche gelangt. Diese Definition erlaubt auch ein Betriebsmittel, das Partikelquellen beinhaltet, für eine Fertigung als tauglich zu betrachten, wenn dieses die spezifizierte Sauberkeit des Produkts einhält.

 (Quelle: VDI 2083 Blatt 8 Entwurf)



 

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